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晶体生长悬浮提拉炉【异议或纠错】

档案编号: CQ-765-7391-4438
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/00(2006.01);C30B15/10(2006.01);C30B15/30(2006.01);C30B29/02(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种单晶生长悬浮提拉炉,包括水冷铜坩埚、不锈钢腔室、感应射频电源、整体电路控制装置、水冷机、抽真空组件、提拉机构和坩埚升降机构;水冷铜坩埚设在不锈钢腔室内部并与其滑动连接,不锈钢腔室底部设有坩埚升降机构,坩埚升降机构锈钢腔室密封连接,坩埚升降机构上端与水冷铜坩埚连接,不锈钢腔室外侧与抽真空组件连接,抽真空组件安装在支架上,本发明相对于以往的晶体生长炉结构小,各方面功能可以精确控制,适合用研究所和各大院校针对金属晶体的研究,各个控制部分采用模块化,可自由进行选择,为金属单晶生长的研究提供了更大的可能性。
附件下载:  (原始资料备查)

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