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一种太阳电池扩散工艺的卸片装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-682-7040-2562
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L31/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开一种太阳电池扩散卸片装置,该装置由底座、定位杆组成,底座为四氟材料,水平方形呈30度角斜坡、定位杆呈圆柱型杆状,采用四氟材料外包弹性的海绵,垂直置于底座四周。定位杆起到定位和缓冲作用,当扩散工艺卸片时,使用一支吸笔吸取硅片,然后按扩散面朝下的方法将硅片放置于该装置上,这样避免了装卸片过程对硅片的损伤,减少人为损失造成的废品,提高低成本的电池生产率。采用本装置太阳电池硅片洁净度,质量可靠性指标得到极大提高。
附件下载:  (原始资料备查)

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