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一种PCB板内外层线路量测仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-691-6380-5893
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/14类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种PCB板内外层线路量测仪,包括偏振干涉共焦显微装置、工业相机、FPGA相位卡和计算机,工业相机用于捕捉偏振干涉共焦显微装置产生的测量信号并传送至FPGA相位卡,FPGA相位卡用于对测量信号进行相位测量,将含有PCB板内层或外层线路中待测线条台阶边缘位置信息的相位变化数据传送至计算机;由于采用了偏振干涉共焦显微装置,利用不同偏振方向的线偏振光照射到台阶边缘反射后产生的相位变化特性,对PCB板内层或外层线路的线条边缘进行定位,其精度可达0.1°,设置十字线也非常简单快捷,由此提高了对PCB板内外层线路线宽线距量测的精度和效率,在降低系统成本的同时也降低了人力成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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