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一种用于拉制硅芯的炉室【异议或纠错】

档案编号: CQ-694-2481-4857
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/00;C30B28/10;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种用于拉制硅芯的炉室,涉及人工晶体领域,本实用新型通过在所述副炉室(1)上设有抽气口(4),在副炉室(1)和主炉室(3)之间设有阀门,实现了在硅芯拉制过程中,在不停炉的情况下将副炉室和主炉室形成两个密闭的腔体,对副炉室完成操作后,再但对对副炉室进行抽真空、充保护性气体,待主炉室与副炉室的压力达到平衡时,开启阀门,使主炉室和副炉室形成一个密闭的腔体,本实用新型具有结构简单,使用方便等特点,在需要取出拉制完成的硅芯更换籽晶夹头时无需停止对原料棒加热就可以完成操作,大大提高了硅芯的生产效率等。
附件下载:  (原始资料备查)

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