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光谱仪氩气激发系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-744-9540-4866
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N21/63类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种光谱仪氩气激发系统,包括强吹气路、主气路、侧气路、公共气路、快门控制气路,上述各气路设置在光谱仪氩气激发系统的集成气路板上;所述强吹气路的气流入口为气源,气流出口为第一出气口;所述公共气路的气流入口为气源,并连接所述快门控制气路;所述主气路的气流入口在所述公共气路上,并设置有氩气表,气流出口为第一出气口;所述侧气路的气流入口在所述公共气路上,气流出口为第二出气口;所述快门控制气路的气流出口为第三出气口;上述各气路上分别至少设置有一个电磁阀。本发明使得光谱仪氩气激发系统能够改变压强、有不同气路设计且气密性良好,提高了氩气激发系统的精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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