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用于卧式扩散炉的扩散均流板【异议或纠错】

档案编号: CQ-750-6660-0227
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B31/04;H01L31/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种用于卧式扩散炉的扩散均流板,包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管,其中的连通管为中空波纹管形连通管。采用本发明的用于卧式扩散炉的扩散均流板,可使POCl3气体更均匀地通过,将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3%、片间均匀性提高至波动范围为±5%。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。
附件下载:  (原始资料备查)

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