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一种六氯乙硅烷提纯装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-159-4363-6074
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/107类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种六氯乙硅烷提纯装置及方法,属于六氯乙硅烷提纯技术领域,装置包括依次连通的原料罐、反应器和冷却器;所述原料罐上设有原料进口,且原料罐内部设有加热器;反应器内设有电极,且反应器具有与氯气通入管路适配的气体接口;冷却器上设有采集口。本发明通过电极形成电磁场激励氯气,得到同时含有电子、活性氯自由基、自由分子及辐射光的等离子体,在自由电子、辐射光和活性氯自由基的诱导下,加热后形成的气相五氯乙硅烷先脱去一个氢基,然后再结合一个氯基,进而转变为六氯乙硅烷,在在提高六氯乙硅烷的纯度的同时,提高了六氯乙硅烷的产量。
附件下载:  (原始资料备查)

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