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还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉【异议或纠错】

档案编号: CQ-317-2452-5788
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B05B13/06;B05D1/12;B05D3/04;B05D7/22类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置、喷涂方法和还原炉,涉及多晶硅装备技术领域。该喷涂装置包括钟罩、旋转部件、密封部件、抽真空部件、排气部件和冷气体动力喷涂部件,利用密封部件使得钟罩内部形成密闭空间后,通过抽真空部件、冷气体动力喷涂部件和排气部件使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下,再采用冷气体动力喷涂部件向钟罩内壁喷涂粉末使其在钟罩内壁形成涂层,其中,在喷涂前使钟罩内部处于高温保护性气体氛围下可避免喷涂过程中涂层发生氧化,能够最大限度保留涂层材料的本征性能,同时,利用高温保护性气体将钟罩内壁预热,使得在较低的喷涂条件下,获得高结合强度的涂层。本发明还提供了还原炉钟罩内壁喷涂方法。
附件下载:  (原始资料备查)

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