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硅棒快速降温系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-317-2578-3036
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/021类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了硅棒快速降温系统,包括:还原炉,包括钟罩夹套和电极冷却装置,钟罩夹套具有入口和出口,还原炉内部设有硅棒;闪蒸罐,包括闪蒸出水管线和闪蒸回水管线,闪蒸出水管线与钟罩夹套的入口连接,闪蒸回水管线与钟罩夹套的出口连接,闪蒸出水管线上设置有高温进水阀门,闪蒸回水管线上设置有高温出水阀门;电极水罐,包括电极水罐出水管线和电极水罐回水管线;硅棒冷却进水管线和硅棒冷却回水管线,硅棒冷却进水管线上设置有冷却水进水阀门,硅棒冷却回水管线上设置有冷却水出水阀门。可以减少钟罩打开后硅棒自然冷却降温的时间,缩短硅棒暴露的时间减少污染,确保产品质量;同时缩短还原炉停炉时间,提高了生产效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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