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一种基于尾气检测的预处理装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-317-2579-5109
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N30/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种基于尾气检测的预处理装置,包括:具有第一冷凝温度的第一冷阱,与原始样品收集器连接,用于将尾气中氯硅烷歧化反应涉及的气体化合物中的一种或者多种进行冷凝;具有第二冷凝温度的第二冷阱,与第一冷阱连接,用于将尾气中氯化氢气体进行冷凝,其中第一冷凝温度高于第二冷凝温度;吸附装置,与第二冷阱连接,吸附剩余尾气中的残余氯硅烷组分;色谱柱,与吸附装置连接,检测预处理的尾气成分。本实用新型根据各组分的沸点不同对原始样品进行分级冷却吸附,去除了待检测样品中的氯化氢、氯硅烷及硅烷等腐蚀性气体,不仅消除腐蚀性气体对分析仪器的色谱柱造成的腐蚀损害,延长色谱柱的使用周期;同时避免分析过程中闪燃现象。
附件下载:  (原始资料备查)

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