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专利信息

一种具有摆动式喷头的二极管清洗装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-326-9409-7185
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B08B3/02;H01L21/02;H01L21/67类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型提供一种具有摆动式喷头的二极管清洗装置,装置包括清洗槽、清洗系统、升降板、驱动装置和摆动机构,清洗系统包括供水管和设置于供水管一端的喷头,喷头设置于清洗槽内,升降板沿横向设置于清洗槽内,驱动装置包括驱动升降板升降的气动升降机构和驱动升降板转动的转动机构,所述摆动机构包括设置于清洗槽内的移动部和驱动移动部沿横向做往复式直线运动的驱动部,所述喷头均固定设置于移动部上。以解决现有二极管清洗方式清洗效率低,劳动强度高,需要占用大量的人力成本,且人工清洗常常会有疏漏,造成部分二极管清洗不充分,影响二极管质量等问题。本实用新型属于二极管清洗领域。
附件下载：  (原始资料备查)

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