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硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉【异议或纠错】

档案编号: CQ-327-5116-3278
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B29/06;C30B28/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉,所述装置包括:位于硅芯炉内部硅芯料;加热线圈,设置于硅芯料上方;加热片,设置于加热线圈和硅芯料顶部之间;第一驱动电机,与所述加热片连接;下轴,与所述硅芯料底部固定连接;第二驱动电机,与所述下轴连接;温度监测装置,用于监测硅芯炉内部温度;以及控制单元,与所述温度监测装置、所述第一驱动电机和所述第二驱动电机连接,用于根据接收到的所述硅芯炉内部温度控制第一驱动电机和第二驱动电机,从而控制所述加热片和下轴。本实用新型主要用于多晶硅硅芯生长,具体涉及预热和加热步骤,无需人工时刻观察,并且加热状态可以得到反馈。
附件下载:  (原始资料备查)

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