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一种多晶硅还原炉及生产线【异议或纠错】

档案编号: CQ-328-3006-2394
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/035类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种多晶硅还原炉及生产线,属于多晶硅生产设备领域。上述还原炉包括底盘、罩体、尾气管和输气管组件,罩体罩设在底盘上形成反应腔,尾气管与反应腔连通。输气管组件包括第一输气管;第一输气管竖直设置在反应腔中,包括第一外壳;第一外壳的底部与底盘连接。第一输气管上设置有多个第一喷气管,多个第一喷气管与第一外壳连接,并分布于第一外壳的上部和下部。使进料混合气均匀喷到硅芯上,有效改善硅棒上下粗细不均及致密度不同问题,使得硅棒上下直径及致密度一致,产品质量得到有效提升;同时有效提升硅棒下端沉积速率,提升了单晶比例和单炉产量。
附件下载:  (原始资料备查)

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