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高纯硅棒的热处理方法和硅片的制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1405-4017
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B33/02;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种高纯硅棒的热处理方法和硅片的制备方法。高纯硅棒的热处理方法,包括:将高纯硅棒置于绝缘保护套中,然后射频加热所述高纯硅棒;所述射频加热之前使用微波进行第一预热,然后射频加热至结束;或者,在所述绝缘保护套中设置用于热辐射的感应体,通过射频加热所述感应体进而对所述高纯硅棒进行第二预热,然后移除所述感应体并继续射频加热至结束。硅片的制备方法,包括:使用所述的高纯硅棒的热处理方法加热高纯硅棒,然后经过热应力破碎得到高纯硅块;将所述高纯硅制成晶体硅棒,然后切片得到所述硅片。本申请提供的加热高纯硅棒的方法,热效率高,加热过程中硅棒污染少。
附件下载:  (原始资料备查)

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