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多晶硅还原炉【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1476-0591
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/035类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,其包括炉体、底盘、第一进气机构、第二进气机构和排气机构,所述炉体固定设置在所述底盘上,且所述炉体与所述底盘围合形成一反应腔室,所述第一进气机构、第二进气机构以及排气机构均与所述反应腔室连通;所述排气机构包括至少一尾气排出管,所述第二进气机构包括第四进气管,所述第四进气管的局部设置在所述尾气排出管内。本实用新型提高了高温尾气与高压低温三氢氯硅的热交换效率,从而更加充分利用尾气排出管内的余热,进而达到增产效能的目的。
附件下载:  (原始资料备查)

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