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一种提高硅棒生长效果的还原炉【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1478-3588
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/035类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种提高硅棒生长效果的还原炉,包括钟罩、第一底盘和第二底盘,第一底盘位于钟罩底部,第二底盘位于钟罩顶部,第一底盘和第二底盘将钟罩密闭;第一底盘上设置有若干第一电极,第二底盘下设置有若干第二电极,每个第一电极的垂直方向均有对应的第二电极,第一电极和对应的第二电极分别外接电源正负极,第一电极和对应的第二电极用于安装硅棒;第一底盘上还设置有若干进料喷嘴,第二底盘上还设置有若干废气排出口。本实用新型有效降低了反应过程后高温混合气在反应腔体内的停留,进而有效改善硅棒上端的沉积速度,使得硅棒上下直径及致密度一致;同时可以减小运行过程中硅棒的晃动,提高了硅棒的垂直度,提高了切割料的利用率。
附件下载:  (原始资料备查)

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