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一种还原炉底座【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1485-9904
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/035类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种还原炉底座,属于多晶硅领域,包括底盘(1),底盘(1)上设有若干电极(2)、若干进料喷嘴(3)和出气口(4);底盘(1)表面设有第一涂层(11),电极(2)表面设有第二涂层(21),进料喷嘴(3)表面设有第三涂层(31),所述出气口(4)处设有第四涂层(41);所述第一涂层(11)、第三涂层(31)和第四涂层(41)均为耐磨蚀涂层,所述第二涂层(21)为高绝缘涂层。本实用新型通过在底盘(1)、电极(2)、进料喷嘴(3)和出气口(4)周围表面设涂层,有效避免硅粉颗粒对底盘(1)以及进料喷嘴(3)的磨蚀,防止高压对电极(2)周围绝缘体的击穿,提高了还原炉的稳定性以及硅棒的纯度。
附件下载:  (原始资料备查)

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