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一种硅芯拉制加热装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1508-8000
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B28/10;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种硅芯拉制加热装置,属于多晶硅生产设备技术领域,其包括:石英筒,石英筒上依次绕设有加热炉丝并套设纤维护套;料座,用于固定硅料,硅料另一端置于石英筒内。本实用新型通过加热炉丝对石英筒内的硅料进行加热,石英筒能够隔离加热过程中的金属(加热炉丝)扩散,避免硅料被污染;纤维护套一方面能够避免加热炉丝裸露于空气中,防止加热炉丝的金属微粒扩散对硅料造成污染,另一方面具有保温作用,能够在低功耗下维持较高加热温度,大大降低了电能损耗。
附件下载:  (原始资料备查)

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