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三甲硅烷基胺的制备方法及系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1520-2046
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B21/088;C01B7/03;B01J19/08类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了三甲硅烷基胺的制备方法及系统,包括如下内容:将N-2、H-2、SiCl-xH-(4-x)的混合气体在电磁场作用下反应,0≤x≤2。本发明实现了氮气与氢气的非热等离子体与氯硅烷的高效反应,在低温低压条件下成功制得三甲硅烷基胺,条件温和,安全性高;且无固体副产物生产,产物分离难度小,无需固废处理,工艺简单,可操作性强,有利于大规模工业化生产。
附件下载:  (原始资料备查)

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