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硅芯炉控制系统及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1554-3525
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G06T7/70;G06T7/60;G06T7/62;G06T7/00;G05B19/05;C30B28/04;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明实施例提出一种硅芯炉控制系统及方法,涉及多晶硅生产领域。该系统包括摄像装置、图像处理装置及控制柜,摄像装置与图像处理装置电连接,图像处理装置与控制柜通信连接,摄像装置从硅芯炉的视镜位置采集硅芯炉内的硅芯熔接部的视频图像,并将视频图像传输至图像处理装置,图像处理装置根据视频图像获取硅芯熔接部的位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径,并将位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径传输至控制柜,控制柜在位置、高度、第一表面的直径和第二表面的直径中的至少一个出现异常时,调节硅芯炉对应的控制参数,以控制硅芯炉正常运行,有效提高了硅芯炉的生产效率,降低人工误操作的风险。
附件下载:  (原始资料备查)

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