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一种颗粒硅区熔检测采样装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-467-1556-4455
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N1/10类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明属于颗粒硅生产领域,具体公开了一种颗粒硅区熔检测采样装置,该装置包括区熔炉(1)和在区熔炉(1)内部从上到下依次设置的籽晶夹持器(2)、加热线圈(3)、颗粒硅容纳装置,颗粒硅容纳装置包括多组不同口径的容纳管(4)用于容纳不同尺寸的颗粒硅(41),所述颗粒硅(41)的尺寸与对应容纳管(4)的口径匹配,所述容纳管(4)为高纯硅管,用于容纳颗粒硅(41);所述容纳管(4)具有上端口,所述上端口位于所述加热线圈(3)下方,所述容纳管(4)的底端连接有氩气管道(6),本发明将颗粒硅置于高纯硅管中,避免颗粒硅受其他设备等带来杂质的影响,同时设计多组不同口径的容纳管(4)实现不同尺寸颗粒硅的检测采样。
附件下载:  (原始资料备查)

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