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一种多晶硅块料清洗装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-557-6682-6031
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00;F26B5/08;F26B11/18;F26B9/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种多晶硅块料清洗装置,属于多晶硅技术领域,所述清洗装置包括:清洗平台(1);依次设在所述清洗平台(1)上的清洗池(2)、漂洗池(3)、超声波池(4)、甩干槽(5)和烘箱(6);所述清洗池(2)、漂洗池(3)、超声波池(4)和甩干槽(5)的底部均设有旋转台(7);以及用于盛放多晶硅块料(9)的载料装置(8),所述载料装置(8)放置在所述旋转台(7)上。本实用新型通过旋转台配合清洗,使得硅料、硅料孔洞得到充分清洗,避免清洗剂残留,整个清洗过程连续性强,可实现多晶硅块料清洗的产业化。
附件下载:  (原始资料备查)

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