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一种硅颗粒生产装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-557-6717-6920
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B01J8/18;B01J8/24;C01B33/035类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种硅颗粒生产装置及方法,属于颗粒硅生产技术领域,硅颗粒生产装置包括第一管道、加热器、第二管道、混合罐、反应器、冷却夹套、下料管、晶种罐以及加热装置。第一管道与第二管道连通,加热器安装于第一管道和反应器之间,晶种罐与反应器连通,冷却夹套套设在反应器外。本发明公开的硅颗粒生产装置通过对氢气、硅烷气和晶种进行提前加热,然后在反应器上设置冷却夹套的方式,可以有效降低反应器的器壁温度,硅烷气分解在温度较高的晶种表面沉积长大,之后通过下料管排出反应器。这种硅颗粒生产装置无需将反应器内壁作为热源为晶种进行加热,避免含硅气体分解过程中部分沉积在反应器内壁。
附件下载:  (原始资料备查)

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