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专利信息

应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-616-1851-8614
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G05D23/32;F25B49/02类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置,由依次连接的压缩机制冷系统、中间环路换热系统和半导体制冷系统组成,压缩机制冷系统通过板式换热器与中间环路换热系统连接,压缩机制冷系统提供的冷水通过中间环路换热系统为半导体制冷系统中的半导体制冷模块散热冷却,通过中间环路换热系统,将压缩机制冷系统与半导体制冷系统有机的结合,采用层层叠进的控制方式,为高端装备提供超高精度控制等级的冷冻水,控制精度可达±0.01℃,同时又能保证系统全年无障碍稳定运行。本发明,将为精密环境控制关键技术的研究和成套装备的研制,提供有力的技术支撑。
附件下载：  (原始资料备查)

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