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一种还原炉底盘平整度的检测装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-616-2087-6145
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/30类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种还原炉底盘平整度的检测装置,属于多晶硅生产领域,包括检测本体(1),检测本体(1)的顶部为第一滑轨(11),检测本体(1)的底部设有第二滑轨(12),检测本体(1)的顶部水平设有检测伸缩杆(2),检测伸缩杆(2)上设有用于检测检测本体(1)水平状态的水平仪(21)以及用于检测还原炉底盘平整度的红外线测距仪(22),检测本体(1)的底部还设有用于调节检测本体(1)高度的可调节支腿(4),检测伸缩杆(2)可以沿着检测本体(1)进行360°旋转,对还原炉底盘正面进行一次性检测,此外,检测伸缩杆(2)可根据不同尺寸的还原炉底盘进行调节,方便测量不同规格的还原炉底盘,省时省力,操作简单。
附件下载:  (原始资料备查)

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