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光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框【异议或纠错】

档案编号: CQ-784-9334-9276
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01S3/03;G03F7/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型属于准分子激光技术领域,具体涉及一种光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框。本实用新型所述的光刻机用准分子激光器陶瓷绝缘框,包括充气孔和出气孔,充气孔一端连接充气装置,充气孔另一端连接中空型腔,出气孔一端连接中空型腔,出气孔另一端连接出气装置,中空型腔设于腔室外壁内部;腔室外壁连接准分子激光器设备。本实用新型结构合理,能满足高电压、强腐蚀性的环境中产生的高重复性及持续时间短的光束脉冲流。
附件下载:  (原始资料备查)

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