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一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-057-6319-7078
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01B11/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置,该装置包括:钨卤素灯光源模块,用于发射光束;第一凸透镜,用于将钨卤素灯光源模块的发射光准直为平行光束;迈克尔逊干涉仪模块,用于将光束分束为强度相等的两束光,作为参考光、探测光分别汇聚于参考镜、待测轴承涂层表面,反射后重合发生干涉,形成干涉光束;以及二维光谱仪模块,包括反射镜、反射式光栅、柱透镜和面阵CCD相机,干涉光束经反射镜传播至反射式光栅,并按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线,由面阵CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹。该装置有利于获取自润滑轴承涂层厚度的二维干涉条纹图像,进而实现对自润滑轴承涂层厚度进行非接触无损检测。
附件下载:  (原始资料备查)

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