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多晶硅尾气处理回收系统及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-103-7379-5204
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/12;C01C1/16;C01B3/52;C01B21/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种多晶硅尾气处理回收系统及方法。所述多晶硅尾气处理回收系统包括第一尾气吸收单元、过滤分离单元、混合单元、第二尾气吸收单元、离心脱析单元、气体分离单元,所述第一尾气吸收单元与所述过滤分离单元、第二尾气吸收单元连接,所述过滤分离单元还与所述混合单元连接,第二尾气吸收单元与混合单元、离心脱析单元连接,所述离心脱析单元还与所述混合单元和/或第一尾气吸收单元连接。本发明提供的多晶硅尾气处理回收系统及方法,能够实现对多晶硅生产过程中产生的尾气进行无毒华净化处理,并能够将生成的物料进行回收利用,实现废物利用创造额外经济价值,且该系统中的水可以循环使用,进而实现了系统内部水消耗的零排放。
附件下载:  (原始资料备查)

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