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一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-107-8303-8124
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B11/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构,涉及一种晶体材料的生长设备,包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19),在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19),所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20);管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内;本发明通过在下轴的外部或内部添加附加管,由附加管形成对坩埚下部空间的低温影响得到减小,有效地使热能散失问题得到控制,实现了热能温度的最大化利用的目的。
附件下载:  (原始资料备查)

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