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一种多晶硅棒制备方法及装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-108-3599-4623
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B28/14;C30B29/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种多晶硅棒制备方法及装置,属于多晶硅棒制备技术领域,多晶硅棒制备方法包括如下步骤:在第一阶段时,首先生产一定量的致密料作为支撑,在第二阶段时,可以对疏松料进行生产,在第三阶段时,再次对致密料进行生产。其中,第一阶段和第三阶段中所生产的致密料的总量与第二阶段生产的疏松料的量之比为一个事先预设的比值。本发明公开的多晶硅棒制备方法根据需要事先对多晶硅棒中的致密料和疏松料的比例进行设定,当多晶硅棒加工完成后,其中的致密料和疏松料刚好为拉制时需要的比例,之后直接将整个多晶硅棒全部敲碎即可进行包装,操作简单快捷,至少减少了包装称量的工序,降低了硅料二次污染的可能性。
附件下载:  (原始资料备查)

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