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专利信息

一种气体流量计的MEMS芯片封装结构【异议或纠错】

档案编号： CQ-120-9046-4905
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B81B7/00;B81B7/02;G01F15/00;G01F15/14;G01F15/18类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构,MEMS芯片封装结构包括：主管材,内部形成有主气路,主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口,主管材的外表面一体成型有封装侧壁,第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内,封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖,封闭封装侧壁的开口,壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体,安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片,设置于安装腔中。本申请实施例,装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性,产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。
附件下载：  (原始资料备查)

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