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一种整体“U”形硅芯的生产工艺【异议或纠错】

档案编号: CQ-132-0662-0803
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B15/20;C30B15/36类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种整体“U”形硅芯的生产工艺,涉及硅芯拉制技术领域,具体包括以下步骤;将硅芯制成整体“U”形籽晶,将整体“U”形籽晶用上轴升降系统卡紧;将原料棒放置在下轴升降系统的料盘座上,原料棒接近高频加热线圈,操控高频加热线圈,加热原料棒端部;整体“U”形籽晶下降,其竖直段穿过高频加热线圈内孔,插入原料棒的熔区;整体“U”形籽晶缓缓上升,整体“U”形籽晶的两个籽晶头分别引导原料棒头部的熔态硅在籽晶端部结晶,在整体“U”形籽晶两头部持续拉制成硅芯;硅芯拉制到规定长度后,停炉,取出整体“U”形硅芯;采用本工艺拉制出的整体“U”形硅芯,有效降低了还原炉的设计、制造的复杂程度,降低多晶硅生产的单位能耗。
附件下载:  (原始资料备查)

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