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专利信息

一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-688-0020-6453
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B28D7/00;B28D5/04类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型公开了一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置,它包括设置在槽体(1)内底部的加热器(2)、设置在槽体内并装有硅片(9)的工装上支架(10)和工装下支架(4),在工装下支架下部设置有起泡装置,所述起泡装置包括与进气管(7)相连的起泡管(6),在起泡管上间隔设置有起泡孔(5)。本实用新型通过在脱胶工装中的水槽体内加入起泡装置,使水槽体中产生(适量)的气泡,气泡的流动可以使清洗槽上层的温度和底部保持一致,使得硅片粘胶部分水体温度和水槽底部加热区域温度保持一致。同时由于气泡的冲击作用硅片表面的胶体很容易在外力的带动下脱离。它不仅缩短了硅片脱胶的时间,脱胶时间缩短了10分钟以上,提高了脱胶生产效率。
附件下载：  (原始资料备查)

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