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专利信息

一种使用金刚石线切割的单晶短棒拼接方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-689-5561-2712
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B28D5/04类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种使用金刚石线切割的单晶短棒拼接方法,先对单晶硅短棒端面检测,要求端面平整度小于0.3mm,再用胶水涂覆在端面上将短棒粘接,粘接后加压固化,再对拼接棒进行开方、端面研磨、滚磨,检验合格后再将拼接棒在切片工作舱内切割成单晶硅片。使所有单晶硅短棒都得到充分利用,大大提高了单晶硅短棒的利用率,降低了生产成本,由于拼接棒与金刚石线成不垂直状,金刚石线在切割拼接棒时,不需要调整线切割装置的位置,就可使金刚石线在切割拼接棒时始终不会出现拉空现象,本发明所述拼接棒方法可以充分利用单晶硅短棒加工成硅片,提高了圆形硅棒的利用率,降低了加工成本。
附件下载：  (原始资料备查)

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