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专利信息

光刻胶组合物及其制备方法和应用【异议或纠错】

档案编号： CQ-959-8574-4098
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/038;G03F7/004;G03F7/16类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及光刻胶技术领域,尤其是涉及一种光刻胶组合物及其制备方法和应用。光刻胶组合物,主要由按重量份数计的如下组分制成：成膜树脂20～40份、四苯基乙烯衍生物5～20份、交联剂2～20份、光敏剂0.5～20份和溶剂；所述四苯基乙烯衍生物为含羟基取代的四苯基乙烯类化合物；所述交联剂包括含有硝基的重氮树脂。本发明采用具有上述结构的四苯基乙烯衍生物结构与特定交联剂配合使用,四苯基乙烯衍生物具有一定的刚性,保证了光刻胶产品的高稳定性能；同时硝基的吸电子作用使重氮苯基发生异裂产生大量二苯胺阳离子,与四苯基乙烯衍生物结构上的羟基亲核基团反应交联,保证了热稳定性能、提高了膜层与衬底的附着力以及延长存储时间。
附件下载：  (原始资料备查)

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