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专利信息

图案化蓝宝石衬底的制作工艺【异议或纠错】

档案编号： CQ-506-0925-5380
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L33/00;G03F7/00;G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种图形化感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法。该制作工艺包括如下步骤：对待蓝宝石衬底基板进行清洁处理；将蓝宝石与所述衬底对准安装,并将所述正面按设定距离设置匀胶涂佈在基板上；1.3根据预设的曝光条件进行投影曝光；对曝光后的衬底进行显影处理；对显影后的衬底进行干刻处理,将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；设定感应偶合电浆刻蚀腔的温度和真空度、以及冷却循环机的控制温度后,将干刻处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；通入感应偶合电浆刻蚀气体对衬底进行刻蚀,通过输出频源和折射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却。我们以感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法,将大大提高生产率、图形一致性、成品率高且工艺稳定。
附件下载：  (原始资料备查)

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