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专利信息

洁净室VOC在线监测系统及方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-062-8152-7207
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G01N30/06;G01N30/86类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了洁净室VOC在线监测系统及方法,所述系统包括：数据采集和传输单元、现场监测单元、监测告警平台以及云端交互控制单元；通过该系统使得被监测对象,被监测设施,被监测洁净室内设备通过洁净室现场监测单元统一进行监测,通过数据采集和传输单元的监测指令,云端交互控制单元调用监测告警平台对应数据采集和传输单元,并查找所需数据。本申请使得洁净室设备统一采用标准的通信接口和现场监测单元进行数据交互,减少了显示、通信、筛选出等各种模块,降低了用户使用成本；能够为泄漏的化学药品逸散设备、建筑材料设备释出、洁净室管路泄漏提供一种低成本、易实施的泄漏检测功能；提供一种低成本,易部署的数据传输解决方案。
附件下载：  (原始资料备查)

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