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一种分波段固晶找晶方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-102-4609-1068
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/66;H01L23/544类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种分波段固晶找晶方法,包括以下步骤,获得晶圆,对晶圆进行电性检测获得该晶圆的电性检测数据;对晶圆的电性检测数据进行转换,将晶圆上晶粒的波段分布范围分成若干个区间,每个区间对应一个字母,且任意两个区间对应的字母不同,获得晶圆的晶粒分类映射图;获得晶圆的图像,晶粒在晶圆上呈矩阵排列,以晶圆的几何中心为原点建立坐标系,获得晶粒分布图;对晶粒分布图进行分析,对每一行晶粒进行判断获得晶粒集中分布图;封装设备根据晶粒集中分布图从晶圆上吸取晶粒。本发明提供的分波段固晶找晶方法提高了封装设备吸取目标类型晶粒的精度和效率,利于提升半导体产品的质量及生产效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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