潍坊星泰克微电子材料有限公司 访客留言 管理档案

信用网址： 12052296.11315.com   

有限责任公司（外商投资、非独资） 成立历史第15 年

专利信息

一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺【异议或纠错】

档案编号： CQ-105-4237-1249
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/004;G03F7/16;G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及光刻技术领域,具体而言,涉及一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺。所述光刻胶主要由大分子量树脂、小分子量树脂、光敏剂和溶剂制成；所述光刻胶主要是由按质量百分比的以下组分制成：大分子量树脂15-25％、小分子量树脂2-16％、光敏剂3-15％、以及溶剂50-80％。小分子量树脂的分子量相对较低,分子的链结构相对较短,占据体积相对较小,空间位阻相对较小,可以填充于大分子量树脂形成的空隙之间,并且小分子量树脂与大分子量树脂之间通过分子间作用力,提高两者之间的结合力,进一步增加光刻胶在烘烤后的结构致密性,提高粘附力,避免漂胶。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315