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一种金刚石微槽热沉器件的表面改性方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-118-1812-5147
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C23C18/36;C23C18/44;C23C18/18类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种金刚石微槽器件的表面改性方法,具体涉及一种以金刚石材料所制微槽热沉器件的表面可焊性改性方法,以实现热沉器件与TR组件的集成,解决卫星及其内部器件超高热流密度的散热需求。具体操作步骤如下：将金刚石微槽器件脱脂除油、化学除油、电解除油、微蚀刻、酸活化、敏化活化、化学镀镍、化学镀金,在金刚石微槽器件表面形成均匀致密的厚度为5～8μm可焊性金属镍材料层及外覆0.2～0.5μm纯金材料层,所覆金属材料层与金刚石材料微槽热沉器件之间的附着力满足焊接要求。
附件下载：  (原始资料备查)

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