专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 薄膜生长腔室和薄膜生长装置 | 专利权 | 良好信息 | 2018-05-01 |
| 一种用于混晶化学气相外延的进气装置 | 专利权 | 良好信息 | 2016-09-07 |
| 薄膜生长腔室和薄膜生长设备 | 专利权 | 良好信息 | 2016-07-27 |
| 薄膜生长腔室和薄膜生长装置 | 专利权 | 良好信息 | 2016-06-01 |
| 拉曼原位监控装置 | 专利权 | 良好信息 | 2016-01-06 |
| 衬底托盘、衬底定位方法及衬底定位系统 | 专利权 | 良好信息 | 2015-11-18 |
| 一种用于金属有机物化学气相沉积设备的进气喷头... | 专利权 | 良好信息 | 2013-03-06 |
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京公网安备：11010202001315
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