专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种批量化洁净度检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2015-07-01 |
| 一种提高氮化镓蓝光亮度的依附层 | 专利权 | 良好信息 | 2013-12-18 |
| 一种提高氮化镓绿光亮度的依附层 | 专利权 | 良好信息 | 2013-12-18 |
| 一种无损伤检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-08-07 |
| 一种改善光阻图案的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-08-07 |
| 一种量测图案化衬底的量测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-07-10 |
| 一种简易清洗掩膜的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-07-03 |
| 一种批量化洁净度检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-06-19 |
| 一种可控形貌的刻蚀方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-05-22 |
| 一种固定刻蚀样品的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2013-05-01 |
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