山东浪潮华光光电子股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 13300149.11315.com   

股份有限公司(非上市) 成立历史第21 

一种GaN基LED晶片金属电极图形制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-719-6342-5939
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L33/36类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种GaN基LED晶片金属电极图形制作方法,包括如下步骤:a)制备生长完成外延层的GaN基外延片;b)在P型GaN层上利用电子束蒸发台生长ITO层;c)蒸镀一层氯化铯层;d)制作电极掩膜图形;e)蒸镀金属电极;f)制作金属电极图形。使用镀膜机蒸镀的氯化铯层作为电极掩膜图形,只需要将制作完成金属膜层的氯化铯掩模图形放置到水里,氯化铯会吸水自动形成紧密的球状体,使整个氯化铯层与P型氮化镓之间以及与金属膜层之间的粘附性大大降低,通过超声处理,氯化铯会脱离ITO层表面,再使用粘性膜覆盖,很容易将整个氯化铯层除掉,间接的除掉氯化铯上的金属,从而剥离金属,得到完整的电极图形。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315