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一种LED电极结构的去除方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-954-8061-5673
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L33/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种LED电极结构的去除方法,通过物理超声初步降低金属电极层与P-GaN层之间的粘附性,然后使用氢氟酸腐蚀掉表面保护层,最后使用盐酸与双氧水的混合溶液去掉金属电极层中以铬、铝金属为底层的所有金属(包括钛、金铍、金、铂、银、镍、锗)。本发明主要利用金属铝与稀酸反应,特定环境下将最底层较薄的铬带掉,位于铝顶层的金属也会随着铝的脱落而脱离本发明步骤简洁,操作简单,在不使用专门的铬腐蚀液、金腐蚀液等的条件下,在完全保证不受损伤的前提下,实现了整个金属电极层的完全有效的腐蚀返工,腐蚀清洗后的LED电极结构表面洁净,无任何金属残渣、铬层底膜残留。
附件下载:  (原始资料备查)

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