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专利信息

一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-998-4510-4751
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L33/06;H01L33/40;H01L33/46;H01L33/30;H01L33/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法,属于半导体加工技术领域,包括以下具体步骤：(1)晶片键合；(2)衬底去除；(3)扩展电极制作；(4)粗化层制作；(5)ITO粘附层制作；(6)主电极制作；(7)保护层制作；(8)管芯制作。本发明通过薄ITO膜层的制作,增强了金属主电极与ITO之间的粘附牢固度,实现了焊线良率的大幅度提升,通过薄ITO+SiO2膜层的制作,降低了界面全反射,增加了管芯出光效率,整个制作过程原理简单,使用工艺方法简便；通过本发明方法制作出的管芯,整体质量稳定,良率较高,整体稳定性好,本方法适用于所有反极性AlGaInP基红光LED芯片的制作工艺。
附件下载：  (原始资料备查)

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