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一种砷化镓基LED管芯透明导电层的返工方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-585-5343-4799
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L33/44;H01L33/62类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种砷化镓基LED管芯透明导电层的返工方法,包括步骤:(1)提供一待返工LED管芯;(2)使用光刻胶对金属电极进行保护;(3)将胶体腐蚀溶液均匀的涂覆在TCL膜层以及保护的金属电极表面形成腐蚀胶膜,对TCL膜层进行恒温腐蚀,之后冷却至常温,进行去胶处理;(4)使用光刻胶对步骤(3)处理后的LED管芯的金属电极进行保护,之后制作TCL膜层,将金属电极区域的TCL膜层去掉并进行去胶处理;(5)将步骤(4)处理后的LED管芯进行高温退火,返工完成。本发明的返工方法流程工序简单,缩短了LED管芯的返工周期,大大降低生产成本,返工后的管芯表面洁净,无侧蚀金属现象,测试光电参数均正常。
附件下载:  (原始资料备查)

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