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一种欧姆接触和肖特基接触超级势垒整流器及其制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-067-7054-3915
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L29/06;H01L29/872;H01L21/329类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种欧姆接触和肖特基接触超级势垒整流器及其制作方法,其特征在于:包括下电极层、重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型体区、肖特基接触区、栅介质层、栅电极层、掩蔽介质层、欧姆接触区和上电极层。该欧姆接触和肖特基接触超级势垒整流器具有制造工艺简单、优化电性特征和耐受过流能力的特点。
附件下载:  (原始资料备查)

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