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专利信息

一种提高快速退火炉片间重复性的方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-093-4240-2806
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L21/324;H01L21/265;H01L21/66;H01L21/67类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种提高快速退火炉片间重复性的方法,包括以下步骤：1)在多片晶圆监控片上进行离子注入掺杂；2)对多片晶圆监控片依次实施快速退火工艺；3)测量经步骤2)处理后的每一片晶圆监控片的方块电阻；4)根据各片晶圆监控片的方块电阻值得出方块电阻达到稳定时的值；5)对单片离子注入掺杂后的晶圆监控片快速退火并引入预热工艺,测试得到不同预热时间点与方块电阻值数值关系,并进一步得到与方块电阻稳定值所对应的预热作业时间β；以作业时间β为预热时间对快速退火炉腔室进行预热后再进行快速退火作业。本发明具有在工艺过程中如何快速稳定腔室环境,减少甚至消除首片效应,提高快速退火炉片间重复性的有益效果。
附件下载：  (原始资料备查)

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