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一种使用单一坩埚蒸镀厚铬金属层的方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-072-0384-2817
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/30;C23C14/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种使用单一坩埚蒸镀厚铬金属层的方法;使用单一坩埚,通过电子束和坩埚位置的调整,实现了将每次蒸镀形成的翘曲层重新打散成颗粒,然后继续进行蒸镀,以此完成了金属Cr厚膜层的蒸镀。本发明方法克服了制备厚金属Cr层需要通过多坩埚蒸镀的弊端,通过调整蒸镀过程中金属源表面形态,以较简单的方法、较低的成本、使用单一坩埚即可有效实现厚金属Cr层的制备。
附件下载:  (原始资料备查)

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