觉芯电子（无锡）有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 189608397.11315.com   

经营异常 有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第6 年

专利信息

一种具有线圈堆叠结构的电磁驱动微镜及生产工艺【异议或纠错】

档案编号： CQ-072-4056-7155
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G02B26/08;B81B7/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及微光机电技术领域,具体公开了一种具有线圈堆叠结构的电磁驱动微镜及生产工艺,包括衬底层、键合层、第二介质层、器件层、线圈组层、第一介质层和金属组层,键合层设置于衬底层的上方,第二介质层设置于键合层的上方,器件层设置于第二介质层的上方,线圈组层设置于所述器件层的表面,第一介质层设置于器件层的上方,金属组层设置于第一介质层的上方,且金属组层与线圈组层局部相互接触。以上结构的设置,实现了高密度的线圈排布,在相同的范围排布双倍的线圈,使线圈密度加倍,从而增大驱动力,降低电流幅值和磁场强度的要求,有利于实现低功耗、大扫描角度的高性能电磁驱动微镜。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315